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文章开展了针对以准分子激光直写刻蚀加工方法为主要加工手段,以微集成机构（Integrated Mechanism,IM）为产品对象的桌面式微型工厂（Micro-factory）加工过程仿真的研究,得出基于Agent的方法对微型工厂中的激光加工过程进行仿真是较为有效方法的结论,指出基于Agent加工过程的仿真模型包括建立设备模型、产品模型和工艺模型等几个方面,并讨论了采用Agent方法进行加工过程仿真的分析和实现方法。