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介绍了一种平面度的在线检测方法,针对常见的平面光学元件,根据光学自准值原理设计了一套平面度在线检测系统。通过实验,该系统能够完成实时在线测量,且测量结果准确。该系统具有原理简单,方法简便,使用灵活等优点。
一种光学元件在线检测系统的设计
【摘 要】
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介绍了一种平面度的在线检测方法,针对常见的平面光学元件,根据光学自准值原理设计了一套平面度在线检测系统。通过实验,该系统能够完成实时在线测量,且测量结果准确。该系统
【机 构】
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闽南理工学院
【出 处】
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机电技术
【发表日期】
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2012年5期
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