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利用迈克尔逊干涉原理测量薄膜厚度的方法,以测量PE保鲜膜和透明塑料膜为例,采用白光干涉产生的彩色条纹来精确测量薄膜的厚度,通过采集干涉产生的实验数据,计算出薄膜的厚度,这是一种实用有效的方法。此方法的测量范围为1μm～1cm,测量精度为0.1μm。
迈克尔逊干涉测薄膜厚度
【摘 要】
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利用迈克尔逊干涉原理测量薄膜厚度的方法,以测量PE保鲜膜和透明塑料膜为例,采用白光干涉产生的彩色条纹来精确测量薄膜的厚度,通过采集干涉产生的实验数据,计算出薄膜的厚度
【机 构】
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闽江学院物理学与电子信息工程系
【出 处】
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福建师大福清分校学报
【发表日期】
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2009年S1期
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