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主要研究了阴极电弧靶电流大小,靶表面电磁场分量,以及脉冲偏压形式对TIN薄膜表面颗粒(液滴)的影响.通过优化镀膜工艺参数,可以有效地减小薄膜表面液滴的数量和尺寸,提高TIN薄膜质量.
模具超镜面表面电弧离子镀TIN薄膜工艺研究
【摘 要】
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主要研究了阴极电弧靶电流大小,靶表面电磁场分量,以及脉冲偏压形式对TIN薄膜表面颗粒(液滴)的影响.通过优化镀膜工艺参数,可以有效地减小薄膜表面液滴的数量和尺寸,提高TIN
【机 构】
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广东省机械研究所
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2002年z1期
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