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采用2.5维柱坐标粒子模拟程序研究了低密度等离子体融断开关(PEOS)工作过程中的物理现象，介绍了计算模型的建立和复杂边界的算法处理。模拟结果表明：在PEOS导通电流的过程中，电流通道最初在等离子体的发生器端形成，随着导通时间的增大而向负载端漂移，离子的空间分布并没有明显的变化；当PEOS发生断路时，等离子体离子的密度会迅速降低，并最终导致PEOS阴极附近的等离子体的密度接近为零，此时阴极电子完全受磁场箍缩作用而不能到达阳极，PEOS完全断开。