【摘 要】
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从理论和应用两方面对光学薄膜吸收缺陷的检测方法进行了研究.基于CCD摄像机的网像锁相技术,提出了不同于传统逐点扫描方法的多通道薄膜吸收检测方法.基于逐点扫描法和图像检
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院研究生院
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从理论和应用两方面对光学薄膜吸收缺陷的检测方法进行了研究.基于CCD摄像机的网像锁相技术,提出了不同于传统逐点扫描方法的多通道薄膜吸收检测方法.基于逐点扫描法和图像检测法,分别计算了大区域内薄膜单点缺陷所对应的吸收分布,结果证明了图像法应用于较大口径薄膜元件吸收检测的可行性.计算和实验表明:相对于逐点法,图像法测量薄膜速度可以提高上百倍,避免了逐点扫描法中耗时长、效率低的不足,扩展了光热技术在大口径镀膜光学元件中的应用.
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