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2002年之后，浸没式技术迅速成为光刻技术中的新宠。因为此种技术的原理清晰及配合现有的光刻技术变动不大，获得了人们的极大赞赏。
193nm浸没式光刻技术发展现状及今后难点
【摘 要】
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2002年之后，浸没式技术迅速成为光刻技术中的新宠。因为此种技术的原理清晰及配合现有的光刻技术变动不大，获得了人们的极大赞赏。
【机 构】
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《电子工业专用设备》编辑部
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2006年4期
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