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锂铁氧体表面沉积Cu-Ti复合金属波导膜系的工艺
锂铁氧体表面沉积Cu-Ti复合金属波导膜系的工艺
来源 :真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wonder568
【摘 要】
:
采用磁控溅射镀膜方法 ,在锂铁氧体材料表面 ,制备了 Cu- Ti复合金属波导膜系。本文简单介绍了设备的改造特点 ,对整个工艺过程进行了分析研究 ,对制备的 Cu- Ti复合金属波导
【作 者】
:
陈荣发
戴国钧
赵毅红
刘炳坤
【机 构】
:
扬州大学,扬州大学,扬州大学,扬州大学 江苏扬州225009,江苏扬州225009,江苏扬州225009,江苏扬州225009
【出 处】
:
真空
【发表日期】
:
2002年01期
【关键词】
:
锂铁氧体
Cu-Ti复合金属波导膜系
工艺
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采用磁控溅射镀膜方法 ,在锂铁氧体材料表面 ,制备了 Cu- Ti复合金属波导膜系。本文简单介绍了设备的改造特点 ,对整个工艺过程进行了分析研究 ,对制备的 Cu- Ti复合金属波导膜系进行了性能测试 ,结果表明 ,用该工艺所制备的波导膜系性能指标达到微波器件的要求
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