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把生产尺寸公差在10nm左右、表面粗糙度在1nm左右的零件定义为超精细生产。目前已可以制造出尺寸仅1μm的零件，甚至可以将它们按10nm等间距排列。值得注意的是，这种超精细的制备工艺并不能通过对原有工艺的简单延伸而获得。为了能够进行纳米尺度下的超精细生产，就需要生产工具能够在三维空间内对工件进行精确的定位及控制。