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综述了制备MEMS的几个重要步骤,即设计、材料选择、加工、封装以及测试,总结了MEMS研究及应用的最新进展.
MEMS技术及应用
【摘 要】
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综述了制备MEMS的几个重要步骤,即设计、材料选择、加工、封装以及测试,总结了MEMS研究及应用的最新进展.
【机 构】
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青岛建筑工程学院实验设备处,西安电子科技大学机电工程学院
【出 处】
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青岛建筑工程学院学报
【发表日期】
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2003年3期
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