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电子束烟气净化技术因能对烟气同时进行脱硫脱硝处理而备受关注，清华大学核能技术设计研究院建立了烟气处理量为10000m^3/h的电子束半干法烟气净化实验装置，实验装置由烟气调节系统，喷雾干燥系统，注氨系统，烟气辐照系统。收集系统5个子系统组成。本文介绍了电子束半干法烟气净化工艺流程，并对各子系统的组成和功能进行了描述。在试验装置上进行的大量实验表明，电子束半干法烟气净化工艺为电子束烟气净化提供了良好的反应条件。比传统电子束烟气净化工艺的能耗大大降低。累计1500h的运行情况表明，电子束半干法烟气净化工艺系统