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在知识爆炸的今天,随着科学技术的迅猛发展,人们在物质探索方面已经达到了很高的水平。人们在不断探索宏观世界的同时,也在不断的探索微观世界,所以,微型系统和微动系统越来越重要,要求也越来越高。精密微动系统在半导体光刻、微型机
一种微动系统设计和展望
【摘 要】
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在知识爆炸的今天,随着科学技术的迅猛发展,人们在物质探索方面已经达到了很高的水平。人们在不断探索宏观世界的同时,也在不断的探索微观世界,所以,微型系统和微动系统越来
【机 构】
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浙江理工大学
【出 处】
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中国市场
【发表日期】
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2006年14期
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