【摘 要】
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为提高射频微机电开关（RF MEMS SWITCH）的稳定性和可靠性,进一步深入了解接触式射频微机电开关接触特性。基于内聚力原理,运用ABAQUS 6.13建立了薄膜/基底与微悬臂梁间粗糙接触
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（51205062）
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为提高射频微机电开关（RF MEMS SWITCH）的稳定性和可靠性,进一步深入了解接触式射频微机电开关接触特性。基于内聚力原理,运用ABAQUS 6.13建立了薄膜/基底与微悬臂梁间粗糙接触表面的接触-分离模型;动态分析加卸载过程中薄膜/基底接触力、接触位移、破坏变形等变化规律。结果表明：在单次加卸载过程中,薄膜/基底与微悬臂梁间存在多次明显接触-分离现象,并伴随着极大的冲击力,而多次激烈冲击不利于系统的稳定接触性能。在接触过程中,薄膜承受了大部分外载,所受的vonMises等效应力值大于基底受到的vo
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