【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法（Sol-Gel）在Pt/Si衬底上制备了PbTiO_3（PT）薄膜和Pb（Zr_x,Ti_（1-x））O_3（PZT）薄膜,研究了退火温度以及PT种子层对PZT薄膜结晶及压电性能的影响。X射线衍射（XRD）结果表明,制
【机 构】
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上海理工大学机械工程学院,上海理工大学材料科学与工程学院
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采用溶胶-凝胶法（Sol-Gel）在Pt/Si衬底上制备了PbTiO_3（PT）薄膜和Pb（Zr_x,Ti_（1-x））O_3（PZT）薄膜,研究了退火温度以及PT种子层对PZT薄膜结晶及压电性能的影响。X射线衍射（XRD）结果表明,制备的PZT薄膜为纯钙钛矿结构的多晶薄膜,有PT种子层的PZT薄膜晶粒尺寸更大,（110）面取向度更高,结晶性能更好;原子力显微镜（AFM）结果表明,制备的薄膜表面形貌比较平整、均匀、无裂纹;压电力显微镜（PFM）结果表明,压电力显微镜（PFM）结果表明,有PT种子层时,PZ
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