【摘 要】
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高速、高灵敏度的光传感器只能借助于超晶格异质结方法。制作超晶格靠常规的方法是不行的,它只能借助于MBE、光MOCVD方法才能完成。本文详细论述MBE、光MOCVD的原理、过程及
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高速、高灵敏度的光传感器只能借助于超晶格异质结方法。制作超晶格靠常规的方法是不行的,它只能借助于MBE、光MOCVD方法才能完成。本文详细论述MBE、光MOCVD的原理、过程及测试,并给出在一些光传感器中的应用。
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