论文部分内容阅读
介绍了激光三角法测量原理和分类，对不同类型进行了分析比较。介绍了CCD的激光三角法高度测量系统在光刻机中的应用及在高度测量时实时和映射两种工作模式。在应用中可以针对不同的测量对象表面的光学特征，使用对应的表格，提高其测量的适应性和测量效率。
激光三角法测量技术在光刻机中的应用
【摘 要】
：
介绍了激光三角法测量原理和分类，对不同类型进行了分析比较。介绍了CCD的激光三角法高度测量系统在光刻机中的应用及在高度测量时实时和映射两种工作模式。在应用中可以针对
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2010年5期
其他文献
摘 要：随着电力系统的发展，各种自动化装置和设备的应用越来越多，电力系统线路也非常复杂。文章结合等电位倒闸操作的工作原理、操作步骤、操作关键点以及操作过程进行探讨，为电力系统倒闸操作的使用提供了可以参考的意见和建议。 关键词：等电位；倒闸操作；变电运行 中图分类号：TM732 文献标识码：A 文章编号：1006-8937（2016）12-0054-02 1 等电位倒闸操作的原理 等电位是指
【正】秋高气爽、天高云淡,又是一年好时节。11月4日一大早,北京市工业技师学院的操场上彩旗飘飘,热情洋溢、欣欣向荣。2014年中国技能大赛第六届全国数控技能大赛决赛开幕式
根据北美盆地深部高压气藏勘探的实践和研究成果，概括出三种成藏模式，即中心分布成藏模式，巢状成藏模式和透镜养成藏模式。引用压力封箱的概念对准噶尔盆地昌吉凹陷天然气藏形成
为了校正Schmidt棱镜的偏振像差，消除双像和鬼影像现象，根据棱镜Jones矩阵B因子与衍射光强的关系，推导出B因子与屋脊面反射相移差δ之间的关系，明确了消除偏振像差，要求B=0需要屋
关于封闭性碳酸盐岩缝洞气藏天然气储量计算，已有公认的经典计算公式，而探讨缝洞性碳酸盐岩产水圈闭中隐蔽性天然气储量的预测和计算，尚属近年提出报新课题。根据物质平衡原理，推
虽然绘图芯片、网通及手机芯片等市场已进入库存修正阶段,除了65/55nm以下先进制程产能仍短缺,40nm及28nm产能更是供不应求,晶圆双雄台积电及联电仍然扩产不停歇。
文章首先通过对配电网损耗的产生以及对配电网损耗的危害进行了详细的介绍和分析，并提出相关建议。接着分析了配电网节能降损技术的产生和内容，着重对配电网节能降损技术的应用
在各个领域的发展建设中，井下涡流工具排水采气技术实现了新的创造模式，不仅应用于井下，还可以应用于地面集输系统中，是我国技术研究中一项新的技术。但是井下涡流工具排水采气技
随着铁路现代化建设的发展，铁路高速、重载技术日臻完善，微机监测、ZPW-2000A无绝缘轨道电路等新技术、新设备已广泛应用于电气化铁路区段的车站与区间。在运输繁忙而维修任务