偏振像差相关论文
基于低成本半导体生产的需求,光刻机的产率和分辨率在过去几十年中不断提高。为了增加光刻分辨率,光刻投影物镜的曝光波长不断减小......
大口径光学元件在天文、能源等前沿技术领域内有着重要的作用,它们的高效加工是这些技术进行的保障,而制约大口径光学元件加工的关......
针对含有自由曲面的空间光学系统中偏振像差对探测精度和成像质量的影响,基于琼斯表示法,提出以条纹泽尼克多项式为表征函数的自由......
为研究施密特棱镜特性参数与偏振像差之间的关系，通过对施密特棱镜偏振和衍射双重效应得到的衍射积分的理论分析，确定了决定施密特棱......
利用琼斯矩阵分析了大角度入射情况时薄膜诱导的偏振像差，通过理论推导提出了减小薄膜诱导偏振像差的膜系设计方法，即在满足最基本的......
在使用自适应光学系统校正的激光传输系统中,光学薄膜的偏振效应会造成偏振色差,导致自适应光学系统的校正能力下降。基于激光传输......
随着天文探测水平的提高,偏振像差对天文望远镜成像质量的影响逐渐凸显。基于偏振光线追迹,分析了一种用于探测宇宙弱引力透镜效应......
针对自由曲面面型所引起的偏振像差对系统的成像质量和测量精度的影响不可忽略,基于琼斯表示法提出含有条纹泽尼克多项式的自由曲......
超大数值孔径(NA)光刻成像中,掩模保护膜上的入射光线入射角范围增大,用传统方法优化掩模保护膜难以增大斜入射光的透射率。基于薄......
别汉棱镜是由施密特屋脊棱镜和半五棱镜组合而成。近年的研究发现,线偏振光经过别汉棱镜后出射的是椭圆偏振光,而且,是两个不同的......
为了追随摩尔定律的预言,集成电路光刻成像技术特征尺寸(CD)不断减小,电路制造对光刻成像精度的要求不断提升。为了提高分辨率,采......
本论文系统地归纳总结了光学薄膜的偏振矩阵计算方法和光学系统的偏振像差函数理论。利用光学设计软件CODEV计算了反射式激光光学......
在成像光学系统中，不仅存在着几何像差还存在由于光线偏振态的改变而导致的偏振像差。在望远镜中，屋脊棱镜的特殊结构会导致屋脊面的......
偏振像差是影响光学系统性能的重要因素之一,尤其对偏振有严格要求的光学系统来说更是如此.要想提高光学系统的性能,必须控制光学......
为了控制反射式旋转对称光学系统中的偏振效应,对该类系统中的偏振像差进行了分析。在偏振像差理论的基础上,通过偏振光线追迹的方......
期刊
为了验证高数值孔径、大入射角、宽光谱的空间光学系统中偏振像差的存在,在激光数字波面干涉仪上对偏振像差进行了实验研究并做了......
斯密特棱镜的偏振像差导致了成像质量的下降，对斯密特棱镜偏振像差的矫正效果的定量检测成为当务之急。Mueller矩阵法不仅可以用于......
为了检测和表征斯密特棱镜的偏振像差，提出弥散圆检测法和B值检测法，对两种方法的原理进行了阐述，并对具体检测方法进行了介绍。弥散......
偏振像差是影响光学系统性能的重要因素之一，尤其对偏振有严格要求的光学系统来说更是如此。要想提高光学系统的性能。必须控制光学......
本文定量分析轴上物点发出的椭偏光束通过共轴透镜时的偏振状态分布。...
为了实现NA1.35投影光刻光学系统高质量成像,在设计过程中除了控制波像差,还需进一步优化光学系统的偏振像差。利用Jones光瞳和物......
为了校正Schmidt棱镜的偏振像差，消除双像和鬼影像现象，根据棱镜Jones矩阵B因子与衍射光强的关系，推导出B因子与屋脊面反射相移差δ之......
一束偏振光经过Schmidt棱镜的两个不同路径,成为两个不同的偏振状态,使得出射光束的偏振态呈现非均匀分布.为了探索偏振态非均匀分......
本文对双折射波片在发散光束中引起的偏振像差进行了分析,并以石英1/4波片为例,给出了小角度入射情况下偏振像差与发散角的近似关......
本文利用光线追迹法、对双折射波片用于发散光束的相位延迟,偏振像差进行了分析,发现在与光轴夹角为45°(或致45°)的入射......
线偏振光经过斯密特屋脊棱镜后形成2个不同路径的椭圆偏振光，两路径椭圆偏振光经过检偏器后，旋转检偏器在一些特殊的角度时会得到光......
偏振双向衰减（diattenuation）是指偏振元件引入的光场传播过程中表征电矢量的两个正交偏振态的振幅变化特性.在大部分有关偏振像差的......
快速空间测角系统需要在一定的平移范围内均能实现测量功能,这就要求光束在接收单元具有一定的覆盖面积.受器件尺寸所限,选择对入......
近年来随着偏振光学的迅速发展,人们逐渐意识到偏振能够为光学技术的发展和应用提供更为丰富的自由度。由于独特的空间偏振状态分......
在激光传输系统中,自适应光学系统是校正大气湍流的重要手段,是系统保持优良工作状态的保障。但是当激光传输系统的ATP系统旋转时,......
自从1947年第一个晶体管发明以来,以集成电路为代表的半导体技术的高速发展推动了人类社会的数字化和信息化,为我们带来了高效舒适......
迄今为止的光学设计中,一般认为在同一光波面上,光束具有相同的振幅和偏振状志.事实上,光束经过许多光学元件后,偏振状态会发生变......
大数值孔径光学系统表面光线的入射角较大,会导致薄膜的偏振分离,诱发偏振像差,影响光学系统的聚焦特性.本文利用矢量光衍射理论,......
深紫外光刻投影物镜是光刻机的核心部件,然而无论是照明光场偏振态的空间分布,还是光刻投影物镜自身的偏振像差都将改变光束的紧聚......
屋脊棱镜在望远系统中常常用于转像和倒像,同时折叠光路,具有紧凑仪器结构的效果。在几何光学中,当屋脊棱镜的两个屋脊面绝对垂直,......
光学系统的偏振像差是影响偏振成像系统偏振探测精度的重要因素之一,特别是在大视场大相对孔径偏振成像系统中。利用偏振光线追迹......
随着光刻技术不断发展,成像分辨率极限一再推进,投影物镜数值孔径越来越大,光刻机像差直接影响成像分辨率和工艺窗口,是评价光刻机......
空间激光通信按照通信体制划分为直接探测和相干探测两种方式,其中相干探测方式由于探测灵敏度高、调制方式灵活、通信容量大等优......
近年来,国内集成电路产业伴随着智能产品的普及而迅速发展,国内集成电路市场已经成为全球集成电路主要市场。然而,我国集成电路发......
屋脊棱镜广泛的应用于望远系统中,起着倒像转像的作用同时具有折叠光路以达到紧凑仪器结构的效果,但是由于偏振像差的存在会影响仪......
高NA光学系统一般指的是高NA投影光刻物镜。高NA投影光刻物镜是光刻机的核心组成部分,其成像质量的好坏决定着最终的光刻性能。偏......
用于制造大规模集成电路的核心设备是光刻机,光刻机的核心部件是投影光刻物镜。为了将掩模图形近似完美地投影到光刻胶上,光刻物镜......
基于Fresnel原理,借助Jones矩阵理论,经相应推理导出任意单色光通过单透镜前后入射光束与出射光束偏振方向的偏转角的变化的一般表......
在一般的光学系统设计中,都假设光线服从几何光学规律,认为系统会均匀地传播所有的偏振态。但是只有在光的两个正交偏振分量的振幅......
深紫外光学薄膜在准分子激光器、深紫外光刻机中发挥着重要的作用,它是保证系统达到设计要求的必要条件,也决定了系统的稳定性以及......
