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通过在硅微悬臂梁与基底表面上涂覆低表面能的憎水性OTS（CH3（CH2）17SiCl3）膜，以除去接触面间的表面张力；把梁与基底均接地，以除去接触面间的静电力，研究仅有范德华力作用时，硅微悬臂梁结构的抗粘附稳定性。根据两接触面均为粗糙表面的微观实际接触模型，在接触表面产生塑性变形的情况下，计算范德华粘附能大小，并分析表面形貌对其影响，得到粗糙表面接触的微梁抗粘附临界长度。