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离子注入碳化硅实现低温下外延合成石墨烯
离子注入碳化硅实现低温下外延合成石墨烯
来源 :中国表面工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tanyali528
【摘 要】
:
通过高温加热碳化硅在其表面上外延形成均匀、大面积的石墨烯,是目前石墨烯制备行业最主要的方法之一。但由于碳化硅具有超高的热解温度,给设备方面提出了很大的挑战,限制了
【作 者】
:
张瑞
【机 构】
:
太原科技大学
【出 处】
:
中国表面工程
【发表日期】
:
2016年6期
【关键词】
:
碳化硅
石墨
离子注入
合成
低温
高温加热
热解温度
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通过高温加热碳化硅在其表面上外延形成均匀、大面积的石墨烯,是目前石墨烯制备行业最主要的方法之一。但由于碳化硅具有超高的热解温度,给设备方面提出了很大的挑战,限制了该方法在实际生产中的应用。
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