【摘 要】
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基于直径为7.2μm的微盘谐振腔器件,分别引入对称缺陷和非对称缺陷,利用时域有限差分法研究缺陷位置和尺寸对各自微盘谐振腔各阶模式的影响.研究表明：随着缺陷半径增大,各阶谐
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基于直径为7.2μm的微盘谐振腔器件,分别引入对称缺陷和非对称缺陷,利用时域有限差分法研究缺陷位置和尺寸对各自微盘谐振腔各阶模式的影响.研究表明：随着缺陷半径增大,各阶谐振模式向短波长移动并且由高到低逐级受到抑制.在对称缺陷腔、非对称缺陷腔中内嵌一个微盘,构成内嵌型双微盘谐振腔,并优化缺陷腔、内嵌微盘尺寸及位置,可实现1 128nm、1 109nm波长的稳定单模谐振.该内嵌型双微盘谐振腔微盘模式简单,实现了谐振模式的简化,具有广泛的应用前景.
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