【摘 要】
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芯片普遍应用于计算机、手机、汽车、网络通信等几大核心领域,芯片的制造离不开晶片制备和化学微加工技术。介绍了芯片生产中晶片的制备、氧化、化学气相沉积、光刻蚀等过程
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芯片普遍应用于计算机、手机、汽车、网络通信等几大核心领域,芯片的制造离不开晶片制备和化学微加工技术。介绍了芯片生产中晶片的制备、氧化、化学气相沉积、光刻蚀等过程中涉及的一些化学反应。
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