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分析了多晶硅微悬臂梁断裂失效机理,利用威布尔分布理论建立了多晶硅微悬臂梁在轴向拉抻和垂直两种受力方式下的断裂可靠性预测模型,模型考虑了由于实际加工工艺所带来的残余应力因素,模型所得的预测曲线与实验数据比较吻合.
多晶硅微悬臂梁断裂的可靠性预测模型
【摘 要】
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分析了多晶硅微悬臂梁断裂失效机理,利用威布尔分布理论建立了多晶硅微悬臂梁在轴向拉抻和垂直两种受力方式下的断裂可靠性预测模型,模型考虑了由于实际加工工艺所带来的残余
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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2005年6期
【基金项目】
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国防重点实验室基金，国家重点实验室基金
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