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介绍了等离子的产生机理及等离子清洗技术的原理；给出一种等离子清洗机的腔体，其特点是工艺气体从左向右水平流动，每个带有小孔的腔体极板可以灵活配置成悬浮极、阳极和阴极；选取合适的工艺条件后，获得了良好的清洗效果。
等离子清洗机的腔体设计
【摘 要】
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介绍了等离子的产生机理及等离子清洗技术的原理；给出一种等离子清洗机的腔体，其特点是工艺气体从左向右水平流动，每个带有小孔的腔体极板可以灵活配置成悬浮极、阳极和阴极；选取合适的工艺条件后，获得了良好的清洗效果。
【机 构】
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电子工业专用设备
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2023年02期
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