【摘 要】
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考虑到以往厚膜传感器压敏元件和补偿电路的一致性较差、稳定性不够理想的问题,设计了一种优化的厚膜压力传感器片内平面化结构,其可提高传感器温度补偿效果;分析了信号调理
【机 构】
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中国科学院合肥智能机械研究所,中国科学院合肥智能机械研究所
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考虑到以往厚膜传感器压敏元件和补偿电路的一致性较差、稳定性不够理想的问题,设计了一种优化的厚膜压力传感器片内平面化结构,其可提高传感器温度补偿效果;分析了信号调理电路的合理布局,元件的科学分布对减小误差,提高抗干扰能力的有效性,并给出了实验数据,通过其证明了设想的正确性。
Considering the inconsistency and unsatisfactory stability of the thick-film sensor’s pressure-sensitive element and compensation circuit in the past, an optimized on-chip planar structure of the thick film pressure sensor is designed to improve the temperature compensation effect of the sensor. The reasonable layout of the signal conditioning circuit, the scientific distribution of the components to reduce the error, improve the anti-interference ability of the effectiveness, and gives the experimental data, through which the proof of the correctness of the idea.
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