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为研制全集成光开关、微片式激光器等，对ＧａＡｓ、ＧａＰ、ＩｎＧａＡｓＰ、ＩｎＡｌＧａＡｓ、ＡｌＧａＡｓ等材料的化学腐蚀进行了实验研究。
GaAs、GaP、InP、InGaAsP、AlGaAs、InAlGaAs的化学腐蚀研究
【摘 要】
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为研制全集成光开关、微片式激光器等，对ＧａＡｓ、ＧａＰ、ＩｎＧａＡｓＰ、ＩｎＡｌＧａＡｓ、ＡｌＧａＡｓ等材料的化学腐蚀进行了实验研究。
【机 构】
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南京电子器件研究所
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1996年1期
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