【摘 要】
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由于实际中多周期高反射膜空间解复用器的制备工艺的难度,根据＂超棱镜＂效应的多层薄膜空间解复用器的设计方法,提出了一种制备工艺简单的多层薄膜结构,以此来降低制备的工艺难
【机 构】
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北京邮电大学光通信与光波技术教育部重点实验室
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由于实际中多周期高反射膜空间解复用器的制备工艺的难度,根据＂超棱镜＂效应的多层薄膜空间解复用器的设计方法,提出了一种制备工艺简单的多层薄膜结构,以此来降低制备的工艺难度。制备通过增加周期中单层膜的级次来减少整个高反射膜系的周期数。所设计的高级次反射膜系为10（9H9L）9H,对设计的膜系进行了数值模拟计算,并和相同总物理厚度的一级次高反射膜系进行了比较。计算结果比较表明,该设计方法明显降低了工艺设计的要求,并具有较大的空间色散和实际制备意义。
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