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本文综述了ITO薄膜的应用领域和制备工艺。ITO薄膜主要用于光电器件中,例如用于液晶显示(LCD)。制造ITO薄膜的工艺方法很多,本文综述了磁控溅射法、CVD法、喷雾热分解法和溶胶—凝胶法4种制膜工艺。
ITO导电薄膜的用途和制备方法
【摘 要】
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本文综述了ITO薄膜的应用领域和制备工艺。ITO薄膜主要用于光电器件中,例如用于液晶显示(LCD)。制造ITO薄膜的工艺方法很多,本文综述了磁控溅射法、CVD法、喷雾热分解法和溶
【机 构】
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中南工业大学粉末冶金研究所,粉末冶金国家重点实验室,粉末冶金国家重点实验室长沙,410083,长沙,410083
【出 处】
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粉末冶金材料科学与工程
【发表日期】
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1997年01期
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