【摘 要】
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基于严格耦合波理论 ,分析了共振区域矩形位相光栅的衍射特性 :位相延迟与光栅周期、占空比、槽深的关系 ,并设计出在 40 0～ 80 0nm范围内的消色散 1/4波片光栅 ,可以实现较为
【机 构】
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清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室; 清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室 北京100084; 北京100084; 北京100084;
【基金项目】
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国家重点基础研究 973项目 (G19990 3 3 0 );国家高技术项目 863 80 4 2资助
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基于严格耦合波理论 ,分析了共振区域矩形位相光栅的衍射特性 :位相延迟与光栅周期、占空比、槽深的关系 ,并设计出在 40 0～ 80 0nm范围内的消色散 1/4波片光栅 ,可以实现较为平坦的衍射效率和位相延迟曲线 ,其中位相延迟可保持在 90°左右 ,最大偏差小于 9% ,达到甚至优于普通二元复合消色散波片。通过对加工及安装误差的讨论 ,得到了影响消色散波片光栅性能的主要加工误差是槽深误差和占空比误差。
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