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对复合涂层的颗粒进行纳米压痕过程中，从最大压入深度计算出的接触面积受到颗粒表面的最高处以及最低处的影响．建立颗粒与基体的纳米压痕有限元模型，计算分析颗粒表面形貌对压痕结果的影响．结果显示：利用颗粒压痕载荷深度曲线计算出的弹性模量与硬度误差随着颗粒曲率的增大而加大．采用一种简单的模型对接触深度的公式进行了相应的修正，最后与有限元分析得到的结果进行比较，所得弹性模量和硬度的误差相对降低，验证了该模型的可行性．