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采用G200型微/纳米压痕仪,测试了不同微纳米级涂层材料的力学性能。结果表明：使用纳米压痕法能检测和表征微纳米涂层材料的硬度和弹性模量及其随涂层厚度的变化趋势,从而了解涂层的力学性能以及与基体的结合质量情况;纳米压痕法测试涂层力学性能时存在明显的表面效应,一般建议压入深度不小于20μm,以保证表面粗糙度引起的压入深度的不确定度小于5%。