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超高纯气体在工业领域有着重大的需求，必须有相应的高灵敏度杂质检测技术作为支撑。大气压电离质谱（APIMS）具有非常高的灵敏度，通常比电子轰击质谱（EIMS）高10^4～10^6倍，是分析超高纯气体纯度最有效的方法。该文介绍了APIMS的产生、发展及电离原理，并综述了以往APIMS对超高纯气体纯度分析的工作，包括底气、杂质种类、杂质检出限及特殊杂质的检测方法。由于方法灵敏度对超高纯气体纯度分析至关重要，文中侧重总结了文献中报道的不同杂质的检出限。