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简要介绍X射线诱导俄歇电子能谱（XAES）用于化学分析的一般性理论。XAES可与X射线光电子能谱（XPS）一起用于元素化学态分析。但是XAES分析有其优势，（1）俄歇参数与荷电位移无关，结果无需荷电校准就可用于价态分析；（2）在一些涉及过渡元素和重元素物质的价态分析时，XAES峰化学位移大于XPS峰；（3）对于分析一些轻元素（如K、Mg、A1等），XAES峰比某些XPS峰有更高的灵敏度。因而，XAES可弥补XPS分析的某些不足，可方便、有效地表征元素价态。通过实例，介绍XAES在这3个方面的实际应用。