【摘 要】
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热电材料可以实现热能和电能的相互转换,它是一种环境友好的功能性材料.当前,热电材料的热电转换效率低,这严重制约了热电器件的大规模应用,因此寻找更加优异热电性能的新材
【机 构】
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中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心,中国科学院大学微电子学院及材料与光电研究中心,北京量子信息科学研究院,北京市半导体微纳集成工程技术研究中心
【基金项目】
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国家重点研发计划(批准号:2019YFB1503602,2018YFB1107502),中国科学院先导B项目(批准号:XDB43020500),中国科学院科研仪器设备研制项目(批准号:GJJSTD20200006)资助的课题.
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热电材料可以实现热能和电能的相互转换,它是一种环境友好的功能性材料.当前,热电材料的热电转换效率低,这严重制约了热电器件的大规模应用,因此寻找更加优异热电性能的新材料或提高传统热电材料的热电性能成为热电研究的主题.与块状材料相比,薄膜具有二维的宏观性质和一维的纳米结构特性,方便研究材料的物理机制与性能的关系,还适用于制备可穿戴电子设备.本文总结了Cu_(2)Se薄膜5种不同的制备方法,包括电化学沉积、热蒸发、旋涂、溅射以及脉冲激光沉积.另外,结合典型事例,总结了薄膜的表征手段,并从Cu_(2)Se的电导率
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