【摘 要】
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近年来发展起来的激光化学,作为一种新工艺正在平面工艺和薄膜加工等方面得到广泛的应用。对微电子器件制造已显示出它是一种有潜力的材料加工工具,主要包括腐蚀、淀积和掺杂
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近年来发展起来的激光化学,作为一种新工艺正在平面工艺和薄膜加工等方面得到广泛的应用。对微电子器件制造已显示出它是一种有潜力的材料加工工具,主要包括腐蚀、淀积和掺杂等。本文将根据国外文献报导概述激光腐蚀和激光淀积等工艺技术。
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