【摘 要】
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最近,VLSI研究机构对2000年半导体设备市场进行了分析.在圆片fab设备方面,最大市场是淀积设备,约为104亿美元.该类设备生产厂家中,应用材料公司居统治地位,占市场份额最大,为
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最近,VLSI研究机构对2000年半导体设备市场进行了分析.在圆片fab设备方面,最大市场是淀积设备,约为104亿美元.该类设备生产厂家中,应用材料公司居统治地位,占市场份额最大,为55%;其次是位于San Jose的Novellus公司,占10%;以及位于东京的东京电子有限公司(TEL),占10%.第二大市场是曝光设备,约为60.6亿美元.该类设备生产厂家中,东京的Nikon Precision公司占市场份额的40%,其次是ASML公司(Veldhoven,荷兰)占30%,佳能公司(日本大阪)占20%.还有干法工艺技术设备市场约为56.8亿美元.该类设备生产厂家中,应用材料公司和TEL公司占市场的25%,Lam研究公司(加州,Fremont)占20%.还有工艺鉴定设备的市场为46.3亿美元,其中KLA-Tencov公司(San Jose)占市场份额40%,Hitachi公司(德克萨斯州,Irving)和应用材料公司各占10%的市场. 湿法设备占有24.1亿美元的市场.Dainippon Screen制造有限公司(日本东京)占有湿法工艺设备市场的35%;其次,TEL公司和SCP全球技术公司(Boise,Idaho)各自占有5%的市场.化学机械抛光(CMP)技术设备正在迅速崛起,目前占有17.1亿美元的市场——应用材料公司拥有50%的市场,东京的Ebara公司占有20%,Speedfam-IPEC公司(Chamdler,Ariz)占15%.(荣荃)
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