【摘 要】
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随着微／纳米加工、测量对环境稳定性要求的进一步提升，实用的精密、低频隔振技术显得日益重要。本文从基于VCM的低频主动隔振系统的动力学模型和隔振对象的位移频响函数出发，借
【机 构】
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合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
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随着微／纳米加工、测量对环境稳定性要求的进一步提升，实用的精密、低频隔振技术显得日益重要。本文从基于VCM的低频主动隔振系统的动力学模型和隔振对象的位移频响函数出发，借助Maflab软件分析、仿真了隔振对象的质量、音圈电机与隔振对象的质量比以及音圈电机的阻尼比对主动隔振系统的影响。并介绍了该低频隔振系统的驱动硬件和控制软件的设计。
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