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采用溶胶–凝胶法在普通玻璃衬底上制备了ZAO（ZnO：Al）薄膜，利用XRD、SEM、紫外–可见光谱和光致发光光谱对所制备的AZO薄膜进行了表征，研究了ZAO薄膜的结构和光学性能。结果表明：ZAO薄膜的微晶晶相与ZnO一致，且具有c轴择优取向；ZAO薄膜在可见光区的透过率超过了88%，在350~575 nm范围内有强的发光带。随着Al掺杂量的增加，ZAO薄膜的禁带宽度变大，光吸收边出现蓝移，发射峰强度先变强后变弱；当摩尔比r（Al：Zn）为0.010时，ZAO薄膜的可见光透过率最高，达91%；发射峰强度达