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从微电子技术诞生的机械技术，在微电子技术中也有重要应用。本文列举了微流量计、微致动器、光掩模、蒸发掩模等几种典型应用，从中可看出微机械技术对微电子技术向更高水平发展有显著的促进作用。
微机械在微电子技术中的应用
【摘 要】
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从微电子技术诞生的机械技术，在微电子技术中也有重要应用。本文列举了微流量计、微致动器、光掩模、蒸发掩模等几种典型应用，从中可看出微机械技术对微电子技术向更高水平发展
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1995年4期
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