微电子加工相关论文
随着MEMS(微电子机械系统)技术的发展,与之相关的微能源技术也日益受到重视.MEMS一方面是指运用微电子加工技术和微机械加工技术在......
本文设计一款利用真空外延生长技术和半导体微电子工艺，基于微型环形谐振腔的涡旋可控光发射器。利用微电子工艺制备包括环形谐振腔......
HF/HNO3/H2O刻蚀体系广泛应用于微电子加工和硅太阳能电池绒面加工工艺中.也是近几年来学者研究的重点.系统中影响硅片刻蚀速度的......
利用传统微电子加工与纳米组装技术构建出了金属颗粒调制的复合碳纳米管场效应及单电子器件.电子输运性能测量结果表明这类复合碳......
研究了光阵列发生器的微电子加工工艺,设计并加工了一维和二维光阵列发生器,通过实验测试了其性能.......
介绍了集成电路(IC)在超精密加工技术中的发展.分析IC生产基本工艺流程与工艺技术,对影响IC发展的最新的3项关键生产技术进行研究;......
硅刻蚀的现场拉曼光谱研究刘峰名任斌汤儆田中群（厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室，化学系，物理化学研究所厦门３６１００５）ＩｎＳｉｔｕＲａｍａｎＳｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙｉｃＳｔｕｄｙｏｆＳｉｌｉｃｏｎＥｔｃｈｉｎｇｉｎＨＦＳｏｌｕｔｉｏｎｓＦ．.........
纳米级微驱动定位技术的应用凌宁（中国科学院光电技术研究所）微电子加工、检测和光纤通讯等的对准都要求有纳米级的定位精度，而自适应......
介绍了一种无碎屑，高亮度，高工作频率的气体靶激光等离子体软X－射线源，其喷气阀门由压电陶瓷驱动，工作频率可达到400Hz，与金属靶激光等离......
在中国"长三角"中心的杭州湾北部,有一颗秀丽的"明珠"正在冉冉升起、有一个新兴的先进制造业特色产业聚集区正在崛起——她,就是刚......
自从1975年稀有气体卤化物准分子激光器出现以来，这类激光器已被誉为新一代紫外光源。近几年来，在高能激光武器、激光核聚变、激光同......
对于以施加电场作为驱动的蠕动爬行微电机构,在柔韧薄板理论和电学物理基础上,通过考虑驱动元件在电场力作用下的几何非线性变形和......
台湾鸿源科技年产50万平方米环氧树脂印刷线路板（PCB）项目目前正式签约，落户浙江嘉兴电子信息产业基地。该项目总投资1亿美元，合同利用......
一种利用低气压放电产生电子束的装置可以发射强力电子束,这种装置成本低廉、易于调节,并且电子束截面形状可以按要求设计。这种电......
美国西密歇根大学的制造工程学教授John Patten博士开发了一种称为“μ-LAM”的微激光辅助加工技术，该方法将激光与金刚石刀具结合......
