【摘 要】
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纳米压印需要将聚合物加热到它的玻璃化温度以上，然后用印章压印使其复制印章图案。采用低玻璃化温度的SU-82000．1和Hybrane胶体转移图案，能够在低温、甚至室温下实现微纳图案的
【机 构】
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河海大学,上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室
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纳米压印需要将聚合物加热到它的玻璃化温度以上，然后用印章压印使其复制印章图案。采用低玻璃化温度的SU-82000．1和Hybrane胶体转移图案，能够在低温、甚至室温下实现微纳图案的转移。采用的印章制备方法是聚焦离子柬（FIB）直接在衬底上制备图案，从而避免了传统工艺中效率较慢的电子柬加工和取消了反应离子刻蚀步骤；并且采用FIB方法可同时在衬底上制备微米、纳米尺度的图案。实验结果表明用FIB方法可以得到比较均匀致密的微纳米图案印章，经过低温纳米压印后可成功地实现微纳图案的复制。
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