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采用MEMS体Si加工工艺和圆片级封装技术，开发了一种基于特种运输中的新型无源MEMS万向碰撞开关。开关选用弹簧-质量-阻尼的典型碰撞结构，对惯性加速度计敏感，以碰撞接触的形式提供导通电阻信号，并拥有500g径向360°和1000g纵向碰撞触发，单个器件可以实现多个器件的功能。经过仿真设计和工艺研究，最终完成了开关的制作，封装后体积后为6．6mm×5mm×2．4mm。经测试表明开关实现了初始的设计阈值，导通电阻约10Ω，导通时间约10s，验证了抗5000g冲击能力，它具有体积