退火对非晶ErAlO高k栅介质薄膜特性的影响

来源 :西华师范大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shijiancuowu

【摘要】

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利用射频磁控溅射法在P型Si（100）衬底上成功制备了非晶Er2O3-Al2O3（ErAlO）栅介质薄膜，得到了电学特性优异的薄膜样品，对薄膜的退火研究发现，600℃氧气氛退火可使ErAlO薄膜的介电常数

【作者】

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陈伟方泽波

【机构】

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西华师范大学物理与电子信息学院,绍兴文理学院物理与电子信息系

【出处】

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西华师范大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2010年1期

【关键词】

：

高K栅介质 ErAlO 氧气退火 high-k gate dielectric ErAIO 02 annealing

【基金项目】

：

基金项目：国家自然青年科学基金资助项目（60806031）,浙江绍兴市重点科研项目（2007A21015）

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利用射频磁控溅射法在P型Si（100）衬底上成功制备了非晶Er2O3-Al2O3（ErAlO）栅介质薄膜，得到了电学特性优异的薄膜样品，对薄膜的退火研究发现，600℃氧气氛退火可使ErAlO薄膜的介电常数得到了提高并使其漏电流特性也得到改善，退火后样品的有效介电常数达到了15，在-1．5V偏压下，漏电流密度仅为2．0×10^-7A／cm2．氧气退火消除了薄膜中原有的缺陷，并使得薄膜更加致密，表面更加平整．

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