【摘 要】
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序言 当前在国内外真空镀膜和真空冶金等领域,广泛应用偏转磁场和电场相垂直的HCD枪(正交场枪),其结构复杂、枪体大、操作也不方便。 近来新出现一种偏转磁场和电场相平行的H
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序言 当前在国内外真空镀膜和真空冶金等领域,广泛应用偏转磁场和电场相垂直的HCD枪(正交场枪),其结构复杂、枪体大、操作也不方便。 近来新出现一种偏转磁场和电场相平行的HCD枪(平行场枪),结构简单、性能稳定、调试方便。作者已在《真空》1983年第3期中,首次提出用HCD枪的空?
Preamble Currently in the field of vacuum coating and vacuum metallurgy at home and abroad, widely used deflection magnetic field and electric field vertical HCD gun (orthogonal field gun), its complex structure, large gun, the operation is not convenient. Recently, a new deflection of magnetic field and electric field parallel to the HCD gun (parallel field gun), the structure is simple, stable performance, easy debugging. The author has been in “vacuum” 1983 the third period, the first proposed HCD gun empty?
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