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本文利用准分子激光CVD技术以液态SnCl4和氧气为源制出了半径45μm的SnO2薄膜微透镜及微透射镜阵列。并从反应机制和生长规律出发对这一生长技术特点和前景进行了阐述。
用准分子激光CVD制作SnO2微透镜及其阵列的技术研究
【摘 要】
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本文利用准分子激光CVD技术以液态SnCl4和氧气为源制出了半径45μm的SnO2薄膜微透镜及微透射镜阵列。并从反应机制和生长规律出发对这一生长技术特点和前景进行了阐述。
【机 构】
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吉林大学电子工程系集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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1996年3期
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