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采用水热合成法直接在高纯钛金属薄片上制备了BaTiO3薄膜；研究了水热反应温度对制备BaTiO3薄膜的影响；利用X-射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和X-射线光电子能谱（XPS）对制备的薄膜进行分析表征。研究结果表明，当水热反应温度相对较低（低于200℃）时，得不到纯净的四方钙钛矿BaTiO3薄膜；在250℃下水热反应5h，得到了纯净的四方钙钛矿BaTiO3薄膜，薄膜的晶粒呈球形，平均粒径为φ200-300nm。