论文部分内容阅读
在大规模集成电路的制造过程中,MOCVD TiN因为其优良的覆盖性能和一致性而被广泛用作W和Al材料的扩散阻挡层和连接层材料.本文介绍了MOCVD TiN厚度对于W填充能力的影响.
MOCVD TiN薄膜厚度漂移对于W填充能力的影响
【摘 要】
：
在大规模集成电路的制造过程中,MOCVD TiN因为其优良的覆盖性能和一致性而被广泛用作W和Al材料的扩散阻挡层和连接层材料.本文介绍了MOCVD TiN厚度对于W填充能力的影响.
【机 构】
：
应用材料中国有限公司
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
2003年11期
其他文献
本刊讯为进一步加强先进典型学习宣传工作,国网江西南昌县供电公司按照市供电公司统一部署,在公司开展＂身边好人榜＂评选和宣传活动,努力在全公司形成＂崇尚先进、学习先进、争当
目的探讨多模态CT静脉造影（CTV）在静脉腔内激光治疗（EVLT）联合泡沫硬化杂交手术治疗下肢静脉曲张治疗中的应用价值。方法回顾性分析2010年1月至2014年4月无锡市第三人民医院放射
提出一种采用89C51单片机监控的可编程ASIC器件主从式下载开发系统,适配多种CPLD/FPGA月标芯片,具有较宽的开发应用范围.
论述了奥林匹克文化与中国图书馆文化的关系，从文化结构角度讨论了奥林匹克文化对中国图书馆文化的影响。
卵泡抑素样蛋白1（FSTL1）是一种新近发现的细胞外基质糖蛋白，其可能通过转化生长因子β信号转导通路及雌激素受体信号转导通路刺激产生。FSTL1有其特殊的结构，在胚胎发育的调控炎
浅析了企业实施名牌战略的意义，介绍了企业名牌战略的构成，对企业名牌经营问题作了探讨。
本文从阅读的基本概念、国民阅读状况、构建阅读生态的必要性及对策等方面论述探讨。
论述了图书馆与现代社会终身教育的问题,指出图书馆是现代社会开展终身教育的基地,图书馆应担负起终身教育的使命。
介绍了自动调压器工作原理,针对自动调压器使用过程中出现的问题,提出了一种实际的解决方案,为避免调节过程中的死循环操作,使得试验过程的自动化成为可能,进行了程序设计。
分析了主要以焦炉煤气为主的原有城市燃气与天然气在诸多性质上的区别,根据燃气系统改造的原则,提出了燃气系统的置换方式及输配系统、调压设施、燃气用具等的改造方法。