日达到1010帕斯卡的极高真空

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【摘要】

：

<正> 最近,日本通产省工业技术院电子技术综合研究所宣称,该研究所在极高真空范围内,已成功地达到101-10帕斯卡(101-12托)以下的压力。据说,现在要获得极高真空范围的真空是

【作者】

：

马钟锦

【出处】

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真空电子技术

【发表日期】

：

1991年05期

【关键词】

：

极高真空帕斯卡真空室

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<正> 最近,日本通产省工业技术院电子技术综合研究所宣称,该研究所在极高真空范围内,已成功地达到101^-10帕斯卡(101^-12托)以下的压力。据说,现在要获得极高真空范围的真空是非常困难的。在技术上,要把从真空室内壁上放出的全部气体排出,决定于真空泵的排气能力。这次极高真空的实现是专心对待日本科学技

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