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讨论了纳米加工与常规精加工的区别,介绍了纳米加工的关键技术及其在微型机械和微型机电系统的应用.
纳米加工技术及其应用
【摘 要】
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讨论了纳米加工与常规精加工的区别,介绍了纳米加工的关键技术及其在微型机械和微型机电系统的应用.
【机 构】
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河北建筑工程学院机械工程系,河北建筑工程学院计算机系
【出 处】
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河北建筑工程学院学报
【发表日期】
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2003年3期
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