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本文介绍了接触式干涉仪滤光片波长一种高精度检测装置．文中描述了其结构原理和操作程序，并作了检测准确度分析和比对．实验证明．该装置具有结构简单、易行、检测准确度高的优点．
接触式干涉仪滤光片波长检测装置
【摘 要】
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本文介绍了接触式干涉仪滤光片波长一种高精度检测装置．文中描述了其结构原理和操作程序，并作了检测准确度分析和比对．实验证明．该装置具有结构简单、易行、检测准确度高的优点．
【机 构】
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广东东莞市计量检定所
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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1997年2期
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