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设计出了无极QCM的样品池结构,以能限理论为基础,通过分析影响石英晶体谐振频率和谐振效果的结构参数,利用ANSYS仿真软件对样品池结构参数进行有限元仿真分析,得出了优化的样品池结构参数.
无极QCM传感器样品池的结构设计与仿真
【摘 要】
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设计出了无极QCM的样品池结构,以能限理论为基础,通过分析影响石英晶体谐振频率和谐振效果的结构参数,利用ANSYS仿真软件对样品池结构参数进行有限元仿真分析,得出了优化的样
【机 构】
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南开大学电子信息与光学工程学院,天津市光电传感器与传感网络技术重点实验室,天津300071
【出 处】
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南开大学学报（自然科学版）
【发表日期】
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2021年1期
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